Enkonduko
La speciala gaso-transporta kabineto estas desegnita por la provizo de brulemaj, eksplodemaj, korodaj, venenaj kaj aliaj danĝeraj gasoj.
La sistemo povas esti dividita en kategoriojn: plene aŭtomata, duonaŭtomata kaj mana operacio.Bazaj funkcioj inkluzivas aŭtomatan purigon, aŭtomatan ŝaltadon kaj aŭtomatan sekurecan fortranĉon en krizaj situacioj (kiam la fiksita alarmsignalo estas ekigita).
La aŭtomata benzinujo estas kontrolita de PLC, la tuŝekrano estas hom-maŝino interfaco, kaj la premo-sensilo instalita de la aparato.
Aparatoj kiel klimatizilo, pneŭmatika valvo, flumezurilo ktp., realigas la sekuran kaj efikan funkciadon de la ekipaĵo.Ĝia interna PLC-programada sekureca interŝlosa funkcio de la metro kaj la racia elekto kaj aranĝo de altpuraj valvaj partoj plenumas la postulojn de la procezo de produktado de duonkonduktaĵoj.
La postuloj por la kontinua provizo kaj alta pureco de specialaj gasoj en la mezo, sed ankaŭ por certigi la normalan produktadon de la fabriko kaj la personan vivon de la dungitoj Sekureco.