En fabrikado de duonkonduktaĵoj, gasoj faras la tutan laboron kaj laseroj ricevas la tutan atenton. Dum laseroj faras etajn transistorojn en silikon, la graveco, kiu unue deponas la silikon kaj detruas la laseron por fari kompletajn cirkvitojn, estas serio de gasoj. Ne mirigas, ke ĉi tiuj gasoj, uzataj por disvolvi mikroprocesorojn per multpaĝa procezo, havas altan purecon. Krom ĉi tiu limigo, multaj el ili havas aliajn zorgojn kaj limojn. Iuj el la gasoj estas kriogenaj, aliaj estas korodaj, kaj ankoraŭ aliaj estas tre toksaj.
En ĉio, ĉi tiuj limigoj faras fabrikadon de gasaj distribuaj sistemoj por la duonkondukta industrio konsiderinda defio. Materialaj specifoj estas postulemaj. Krom materiaj specifoj, gasa distribua tabelo estas kompleksa elektromekanika tabelo de interligitaj sistemoj. La medioj en kiuj ili estas kunvenigitaj estas kompleksaj kaj interkovritaj. Fina fabrikado okazas surloke kiel parto de la instala procezo. Orbita veldado helpas plenumi la altajn specifajn gasajn distribuajn postulojn dum fabrikado de fabrikado en streĉaj kaj malfacilaj medioj pli regeblaj.
Kiel gasoj estas uzataj en la duonkondukta industrio
Antaŭ ol provi plani la fabrikadon de gasa distribua sistemo, necesas kompreni almenaŭ la bazojn de duonkondukta fabrikado. Ĉe ĝia kerno, duonkonduktaĵoj uzas gasojn por deponi preskaŭ-elementajn solidojn sur surfaco tre kontrolita. Ĉi tiuj deponitaj solidoj tiam estas modifitaj enkondukante pliajn gasojn, laserojn, kemiajn etĉojn kaj varmon. La paŝoj en la larĝa procezo estas:
Deponejo: Ĉi tiu estas la procezo krei la komencan silikan ondeton. Siliciaj pioniraj gasoj estas pumpitaj en vakuan deponejon kaj formas maldikajn silikajn vafojn tra kemiaj aŭ fizikaj interagoj.
Fotolitografio: La foto -sekcio rilatas al laseroj. En la pli alta ekstrema ultraviola litografio (EUV) spektro uzata por fari la plej altajn specifajn blatojn, karbona dioksida lasero estas uzata por gravuri la mikroprocesor -cirkviton en la ondeton.
Gravuraĵo: Dum la gravura procezo, halogen-karbona gaso estas pumpita en la ĉambron por aktivigi kaj solvi elektitajn materialojn en la silicia substrato. Ĉi tiu procezo efike gravuras la laseron-presitan cirkviton sur la substraton.
Dopado: Ĉi tio estas plia paŝo, kiu ŝanĝas la konduktivecon de la gravurita surfaco por determini la ĝustajn kondiĉojn, en kiuj la duonkonduktaĵo kondukas.
Annealing: En ĉi tiu procezo, reagoj inter ondaj tavoloj estas ekigitaj de levita premo kaj temperaturo. Esence, ĝi finas la rezultojn de la antaŭa procezo kaj kreas la finitan procesoron en la ondeto.
Ĉambro kaj linia purigado: La gasoj uzataj en la antaŭaj paŝoj, precipe gravuraĵoj kaj dopado, ofte estas tre toksaj kaj reaktivaj. Tial la proceza ĉambro kaj la gasaj linioj nutrantaj ĝin devas esti plenigitaj per neŭtraligaj gasoj por redukti aŭ forigi malutilajn reagojn, kaj poste plenigi kun inertaj gasoj por malebligi la entrudiĝon de iuj poluantaj gasoj de la ekstera medio.
Gasaj distribuaj sistemoj en la duonkondukta industrio ofte estas kompleksaj pro la multaj malsamaj gasoj engaĝitaj kaj la streĉa kontrolo de gasfluo, temperaturo kaj premo, kiuj devas esti konservitaj kun la tempo. Ĉi tio estas plue komplikita per la ultra-alta pureco bezonata por ĉiu gaso en la procezo. La gasoj uzataj en la antaŭa paŝo devas esti elŝovitaj el la linioj kaj ĉambroj aŭ alie neŭtraligitaj antaŭ ol la sekva paŝo de la procezo povas komenciĝi. Ĉi tio signifas, ke estas multaj specialaj linioj, interfacoj inter velditaj tubaj sistemoj kaj hosoj, interfacoj inter hosoj kaj tuboj kaj gasaj reguligiloj kaj sensiloj, kaj ankaŭ interfacoj inter ĉiuj antaŭe menciitaj komponentoj kaj valvoj kaj seĝantaj sistemoj desegnitaj por malhelpi dukto -poluadon de la natura gaso -provizo de esti interŝanĝitaj.
Krome, puraj ĉambraj eksteraj kaj specialaj gasoj estos ekipitaj per pograndaj gasaj provizaj sistemoj en puraj ĉambraj medioj kaj specialigitaj limigitaj areoj por mildigi iujn ajn danĝerojn en kazo de akcidenta fugaĵo. Soldi ĉi tiujn gasajn sistemojn en tia kompleksa medio ne estas facila tasko. Tamen, kun zorgo, atento al detaloj kaj la ĝusta ekipaĵo, ĉi tiu tasko povas plenumi sukcese.
Fabrikado de gasaj distribuaj sistemoj en la duonkondukta industrio
Materialoj uzataj en duonkonduktaj gasaj distribuaj sistemoj estas tre ŝanĝiĝemaj. Ili povas inkluzivi aferojn kiel PTFE-kovritajn metalajn tubojn kaj hosojn por rezisti tre korodajn gasojn. La plej ofta materialo uzata por ĝenerala celo tubado en la duonkondukta industrio estas 316L neoksidebla ŝtalo - malalta karbona neoksidebla ŝtala varianto. Kiam temas pri 316L kontraŭ 316, 316L estas pli imuna al intergranula korodo. Ĉi tio estas grava konsidero kiam temas pri gamo da tre reaktivaj kaj eble volatilaj gasoj, kiuj povas korodi karbonon. Soldado 316L Neoksidebla ŝtalo liberigas malpli da karbonaj precipitaĵoj. Ĝi ankaŭ reduktas la potencialon por grena limo -erozio, kio povas konduki al pikado de korodo en veldoj kaj varmaj trafitaj zonoj.
Por redukti la eblon de pipado de korodo kondukanta al produkta linio -korodo kaj poluado, 316L neoksidebla ŝtalo veldita per pura argona ŝirmanta gaso kaj tungstena gaso ŝirmita veldaj reloj estas la normo en la duonkondukta industrio. La sola velda procezo, kiu provizas la kontrolon necesan por konservi altan purecan medion en proceza tubado. Aŭtomata orbita veldado provizas nur la ripeteblan procezan kontrolon necesan por kompletigi la veldon en la fabrikado de duonkonduktaj gasaj distribuaj sistemoj. La fakto, ke enfermitaj orbitalaj veldaj kapoj povas akomodi la homplenajn kaj malfacilajn spacojn ĉe kompleksaj intersekciĝoj inter procezaj areoj estas signifa avantaĝo de la procezo.
Shenzhen Wofei Technology Co., Ltd, kun pli ol 10 jaroj da sperto pri provizado de industriaj kaj specialaj gasoj, materialoj, gasprovizaj sistemoj kaj gasa inĝenierado por la duonkonduktaĵoj, LED, DRAM kaj TFT-LCD-merkatoj, ni povas provizi vin per la materialoj necesaj por alporti viajn produktojn al la avanco de la industrio. Ni ne nur povas provizi larĝan gamon de valvoj kaj akcesoraĵoj por duonkonduktilaj elektronikaj specialaj gasoj, sed ankaŭ desegni gasajn tubojn kaj ekipaĵon por niaj klientoj.
Afiŝotempo: jul-31-2023