Altpura gaso-tuba teknologio estas grava parto de altpura gasa provizosistemo, kiu estas la ŝlosila teknologio por liveri la bezonatan altpuran gason al la punkto de uzo kaj ankoraŭ konservi la kvalifikitan kvaliton;Altpura gastuba teknologio inkluzivas la ĝustan dezajnon de la sistemo, la elekton de ekipaĵoj kaj akcesoraĵoj, konstruadon kaj instaladon kaj testadon.En la lastaj jaroj, la ĉiam pli striktaj postuloj pri pureco kaj malpureca enhavo de altpuraj gasoj en la produktado de mikroelektronikaj produktoj reprezentitaj de grandskalaj integraj cirkvitoj igis la pipa teknologio de altpuraj gasoj pli kaj pli maltrankviligita kaj emfazita.La sekvanta estas mallonga superrigardo de altpura gastubo de materiala elektoof konstruado, same kiel akcepto kaj ĉiutaga administrado.
Tipoj de komunaj gasoj
Klasifiko de oftaj gasoj en la elektronika industrio：
Oftaj gasoj（Pogranda gaso）: hidrogeno (H2), nitrogeno (N2), oksigeno (O2), argono (A2), ktp.
Specialaj gasojestas SiH4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCL,CF4 ,NH3,POCL3, SIH2CL2 SIHCL3,NH3, BCL3 ,SIF4 ,CLF3 ,CO,C2F6, N2O,F2,HF,HBR SF6…… ktp.
La specoj de specialaj gasoj povas ĝenerale esti klasifikitaj kiel korodajgaso, toksagaso, brulemagaso, bruligeblagaso, inertagaso, ktp. La kutime uzataj duonkonduktaĵoj estas ĝenerale klasifikitaj jene.
(i) Koroda/toksagaso: HCl , BF3, WF6, HBr , SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2, BCl3… ktp.
(ii) Flameblogaso: H2, CH4, SiH4, PH3, AsH3, SiH2Cl2, B2H6, CH2F2,CH3F, CO... ktp.
(iii) brulecogaso: O2, Cl2, N2O, NF3… ktp.
(iv) Inertagaso: N2, CF4, C2F6, C4F8,SF6, CO2, Ne, Kr, Li... ktp.
Multaj semikonduktaĵoj estas malutilaj al homa korpo.Aparte, kelkaj el tiuj gasoj, kiel ekzemple SiH4 spontanea brulado, kondiĉe ke liko reagos perforte kun la oksigeno en la aero kaj komencos bruli;kaj Ash3tre toksa, ajna malpeza elfluo povas kaŭzi la riskon de homa vivo, ĝi estas pro ĉi tiuj evidentaj danĝeroj, do la postuloj por la sekureco de la sistemo dezajno estas aparte alta.
Apliko amplekso de gasoj
Kiel grava baza krudaĵo de moderna industrio, gasproduktoj estas vaste uzataj, kaj granda nombro da oftaj gasoj aŭ specialaj gasoj estas uzataj en metalurgio, ŝtalo, nafto, kemia industrio, maŝinaro, elektroniko, vitro, ceramikaĵo, konstrumaterialoj, konstruado. , nutraĵprilaborado, medicino kaj medicinaj sektoroj.La apliko de gaso havas gravan efikon sur la alta teknologio de ĉi tiuj kampoj precipe, kaj estas ĝia nemalhavebla krudmateriala gaso aŭ proceza gaso.Nur kun la bezonoj kaj promocio de diversaj novaj industriaj sektoroj kaj modernaj scienco kaj teknologio, la gas-industrioproduktoj povas esti evoluitaj per saltoj laŭ vario, kvalito kaj kvanto.
Gasapliko en mikroelektroniko kaj duonkondukta industrio
La uzo de gaso ĉiam ludis gravan rolon en la duonkondukta procezo, precipe la duonkondukta procezo estis vaste uzata en diversaj industrioj, de la tradicia ULSI, TFT-LCD ĝis la nuna mikro-elektro-mekanika (MEMS) industrio, ĉiuj el kiuj uzas la tiel nomatan duonkonduktaĵoprocezon kiel la produktadprocezon de produktoj.La pureco de la gaso havas decidan efikon al la agado de komponantoj kaj produktokvantoj, kaj la sekureco de la gasa provizo rilatas al la sano de dungitaro kaj la sekureco de plantaj operacioj.
La signifo de altpura tubado en altpura gasa transporto
En la procezo de fandado kaj fabrikado de materialo de neoksidebla ŝtalo, ĉirkaŭ 200 g da gaso povas esti sorbita por tuno.Post la prilaborado de neoksidebla ŝtalo, ne nur ĝia surfaco glueca kun diversaj poluaĵoj, sed ankaŭ en ĝia metala krado ankaŭ sorbis certan kvanton da gaso.Kiam ekzistas aerfluo tra la dukto, la metalo sorbas ĉi tiun parton de la gaso reeniros la aerfluon, poluante la puran gason.Kiam la aerfluo en la tubo estas malkontinua fluo, la tubo adsorbas la gason sub premo, kaj kiam la aerfluo ĉesas pasi, la gaso adsorbita de la tubo formas premofalon por solvi, kaj la solvita gaso ankaŭ eniras la puran gason en la tubo. kiel malpuraĵoj.Samtempe, la adsorbado kaj rezolucio ripetiĝas, tiel ke la metalo sur la interna surfaco de la tubo ankaŭ produktas certan kvanton da pulvoro, kaj ĉi tiuj metalaj polvaj eroj ankaŭ poluas la puran gason ene de la tubo.Ĉi tiu karakterizaĵo de la tubo estas esenca por certigi la purecon de la transportita gaso, kiu postulas ne nur tre altan glatecon de la interna surfaco de la tubo, sed ankaŭ altan eluziĝoreziston.
Kiam la gaso kun forta koroda agado estas uzata, korodrezistaj neoksideblaj ŝtalaj tuboj devas esti uzataj por fajfado.Alie, la pipo produktos korodajn makulojn sur la interna surfaco pro korodo, kaj en gravaj kazoj, estos granda areo de metala nudigado aŭ eĉ borado, kiu poluos la puran gason distribuotan.
La konekto de altpuraj kaj altpuraj gasaj transdono kaj distribuoduktoj de grandaj flukvantoj.
En principo, ĉiuj el ili estas velditaj, kaj la uzataj tuboj devas havi neniun ŝanĝon en organizo kiam veldado estas aplikata.Materialoj kun tro alta karbonenhavo estas submetataj al la aerpermeablo de la velditaj partoj dum veldado, kio faras la reciprokan penetron de gasoj ene kaj ekster la tubo kaj detruas la purecon, sekecon kaj purecon de la elsendita gaso, rezultigante la perdon de gaso. ĉiuj niaj klopodoj.
En resumo, por altpura gaso kaj speciala gastransdono-dukto, necesas uzi specialan traktadon de altpura neoksidebla ŝtalo-tubo, por fari altpuran duktosistemon (inkluzive de tuboj, garnaĵoj, valvoj, VMB, VMP) en altpura gas-distribuo okupas esencan mision.
Ĝenerala koncepto de pura teknologio por dissendaj kaj distribuaj duktoj
Tre pura kaj pura gaskorpa transsendo kun tubado signifas, ke ekzistas certaj postuloj aŭ kontroloj por tri aspektoj de la transportota gaso.
Gasa pureco: La enhavo de malpura atmosfero en la gGas pureco: La enhavo de malpura atmosfero en la gaso, kutime esprimita kiel procento de gasa pureco, kiel 99,9999%, ankaŭ esprimita kiel la volumena proporcio de malpura atmosfero enhavo ppm, ppb, ppt.
Sekeco: la kvanto de spura humideco en la gaso, aŭ la kvanto nomita malsekeco, kutime esprimita en terminoj de rosopunkto, kiel atmosfera premo rosopunkto -70.C.
Pureco: la nombro da poluaj partikloj enhavitaj en la gaso, partiklograndeco de µm, kiom da partikloj/M3 por esprimi, por kunpremita aero, kutime ankaŭ esprimita laŭ kiom da mg/m3 da neeviteblaj solidaj restaĵoj, kiu kovras la oleoenhavon. .
Klasifiko de grandeco de malpurigaĵo: malpurigaj partikloj, ĉefe rilatas al dukto purigado, eluziĝo, korodo generita de metalaj partikloj, atmosferaj fulgaj partikloj, same kiel mikroorganismoj, fagoj kaj humidecaj gasaj kondensaj gutetoj, ktp., laŭ la grandeco de ĝia partiklograndeco. estas dividita en
a) Grandaj partikloj - partiklograndeco super 5μm
b) Partiklo - materiala diametro inter 0.1μm-5μm
c) Ultra-mikropartikloj - partikla grandeco malpli ol 0.1μm.
Por plibonigi la aplikon de ĉi tiu teknologio, por povi perceptan komprenon de partiklograndeco kaj μm-unuoj, aro de specifa partiklostatuso estas provizita por referenco.
La sekvanta estas komparo de specifaj partikloj
| Nomo/Grango de partiklo (µm) | Nomo/Grango de partiklo (µm) | Nomo/ Partiklograndeco (µm) |
| Viruso 0.003-0.0 | Aerosolo 0.03-1 | Aerosoligita mikroguto 1-12 |
| Nuklea brulaĵo 0,01-0,1 | Farbo 0,1-6 | Flugcindro 1-200 |
| Karbonnigro 0,01-0,3 | Lakto-pulvoro 0,1-10 | Pesticido 5-10 |
| Rezino 0.01-1 | Bakterioj 0,3-30 | Cementa polvo 5-100 |
| Cigareda fumo 0,01-1 | Sablopolvo 0,5-5 | Poleno 10-15 |
| Silikono 0,02-0,1 | Pesticido 0,5-10 | Homaj haroj 50-120 |
| Kristaligita salo 0,03-0,5 | Koncentrita sulfura polvo 1-11 | Mara sablo 100-1200 |
Afiŝtempo: Jun-14-2022