Alt-pureca gasa tubado-teknologio estas grava parto de alt-pureca gasa provizo-sistemo, kio estas la ŝlosila teknologio por liveri la postulatan alt-purecan gason al la uzado kaj ankoraŭ konservi la kvalifikitan kvaliton; Alt-pureca gasa pipado-teknologio inkluzivas la ĝustan dezajnon de la sistemo, la elekton de akcesoraĵoj kaj akcesoraĵoj, konstruado kaj instalado, kaj testado. En la lastaj jaroj, la ĉiam pli striktaj postuloj pri la pureco kaj malpureca enhavo de alt-purecaj gasoj en la produktado de mikroelektronikaj produktoj reprezentitaj de grandskalaj integraj cirkvitoj igis la tuban teknologion de alt-purecaj gasoj ĉiam pli maltrankviligitaj kaj emfazitaj. La sekva estas mallonga superrigardo de alt-pureca gasa tubaro de materiala selektadoof konstruado, same kiel akcepto kaj ĉiutaga administrado.
Specoj de komunaj gasoj
Klasifiko de komunaj gasoj en la elektronika industrio：
Oftaj gasoj（Pogranda gaso）: Hidrogeno (H2), nitrogeno (n2), oksigeno (o2), Argono (a2), ktp
Specialaj gasojestas sih4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCl,CF4 ,NH3,POCL3, Sih2cl2 Sihcl3,NH3, Bcl3 ,Sif4 ,CLF3 ,CO,C2F6, N2O,F2,HF,HBR SF6...... ktp
La specoj de specialaj gasoj ĝenerale povas esti klasifikitaj kiel korodajgaso, Toksagaso, Flammablegaso, bruleblagaso, inertagaso, ktp. La komune uzataj duonkonduktaĵaj gasoj estas ĝenerale klasifikitaj jene.
(i) Koroda / Toksagaso: HCl, BF3, WF6, HBR, SIH2Cl2, NH3, PH3, Cl2, Bcl3... ktp.
(ii) Flammabilecogaso: H2, Ch4, SIH4, PH3, Ash3, sih2Cl2, B2H6, CH2F2,Ch3F, Co ... ktp.
(iii) brulecogaso: O2, Cl2, N2O, NF3... ktp
(iv) inertagaso: N2, CF4, C2F6, C4F8,SF6, CO2, Ne, kr, li ... ktp.
Multaj duonkonduktaĵaj gasoj estas malutilaj por homa korpo. Precipe iuj el ĉi tiuj gasoj, kiel SIH4 spontanea brulado, kondiĉe ke liko reagos perforte kun la oksigeno en la aero kaj komencos bruli; kaj cindro3Tre toksa, ia malgrava fugaĵo povas kaŭzi la riskon de homa vivo, ĝi estas pro ĉi tiuj evidentaj danĝeroj, do la postuloj por la sekureco de la sistemo -projektado estas aparte altaj.
Aplika amplekso de gasoj
Kiel grava baza krudmaterialo de moderna industrio, benzinaj produktoj estas vaste uzataj, kaj granda nombro da komunaj gasoj aŭ specialaj gasoj estas uzataj en metalurgio, ŝtalo, petrolo, kemia industrio, maŝinaro, elektroniko, vitro, ceramiko, konstruaj materialoj, konstruado, manĝaĵa prilaborado, medicino kaj medicinaj sektoroj. La apliko de gaso havas gravan efikon sur la alta teknologio de ĉi tiuj kampoj precipe, kaj estas ĝia nemalhavebla kruda materialo aŭ proceza gaso. Nur kun la bezonoj kaj akcelado de diversaj novaj industriaj sektoroj kaj moderna scienco kaj teknologio, la produktoj de gasindustrio povas esti disvolvitaj laŭpaŝe koncerne varion, kvaliton kaj kvanton.
Gas -apliko en Mikroelektronika kaj Semikonduktaĵindustrio
La uzo de gaso ĉiam ludis gravan rolon en la semikonduktaĵa procezo, precipe la semikonduktaĵa procezo estis vaste uzata en diversaj industrioj, de la tradicia ULSI, TFT-LCD ĝis la aktuala mikro-elektro-mekanika (MEMS) industrio, ĉiuj el kiuj uzas la tiel nomatan semikonduktan procezon kiel la fabrikan procezon. La pureco de la gaso havas decidan efikon sur la agado de komponentoj kaj produktaj rendimentoj, kaj la sekureco de la gaso -provizo rilatas al la sano de dungitaro kaj sekureco de plantaj operacioj.
La signifo de alta pureco-tubaro en alt-pureca gasa transporto
En la procezo de neoksidebla ŝtala fandado kaj fabrikado de materialo, ĉirkaŭ 200g da gaso povas esti sorbitaj per tuno. Post la prilaborado de neoksidebla ŝtalo, ne nur ĝia surfaco glueca kun diversaj poluantoj, sed ankaŭ en ĝia metala krado ankaŭ absorbis certan kvanton da gaso. Kiam estas fluo de aero tra la dukto, la metalo absorbas ĉi tiun parton de la gaso re-enen en la aerfluon, poluante la puran gason. Kiam la aerfluo en la tubo estas malkontinua fluo, la tubo adsorbas la gason sub premo, kaj kiam la aerfluo ĉesas pasi, la gaso adsorbita de la tubo formas premon por solvi, kaj la solvita gaso ankaŭ eniras la puran gason en la tubo kiel malpuraĵoj. Samtempe, la adsorbado kaj rezolucio ripetiĝas, tiel ke la metalo sur la interna surfaco de la tubo ankaŭ produktas certan kvanton da pulvoro, kaj ĉi tiuj metalaj polvaj eroj ankaŭ poluas la puran gason en la tubo. Ĉi tiu trajto de la tubo estas esenca por certigi la purecon de la transportita gaso, kiu postulas ne nur tre altan glatecon de la interna surfaco de la tubo, sed ankaŭ altan eluziĝon.
Kiam la gaso kun forta koroda agado estas uzata, korod-rezistemaj neoksideblaj ŝtalaj tuboj devas esti uzataj por tubado. Alie, la tubo produktos korodajn makulojn sur la interna surfaco pro korodo, kaj en gravaj kazoj, estos granda areo de metala strio aŭ eĉ borado, kiu poluos la puran gason por distribui.
La ligo de alta pureco kaj alta purigado de gaso-transdono kaj distribuaj duktoj de grandaj fluoj.
Principe, ĉiuj ili estas velditaj, kaj la tuboj uzataj devas havi neniun ŝanĝon en organizo kiam oni aplikas veldon. Materialoj kun tro alta karbona enhavo estas submetitaj al la aera permeablo de la velditaj partoj kiam veldado, kio faras la reciprokan penetradon de gasoj ene kaj ekster la tubo kaj detruas la purecon, sekecon kaj purecon de la transdonita gaso, rezultigante la perdon de ĉiuj niaj klopodoj.
En resumo, por alt-pureca gaso kaj speciala gaso-transdona dukto, necesas uzi specialan traktadon de alta pureco neoksidebla ŝtala tubo, por fari altan purecan dukto-sistemon (inkluzive de tuboj, akcesoraĵoj, valvoj, VMB, VMP) en alta pureca gaso-distribuo okupas esencan mision.
Ĝenerala koncepto de pura teknologio por transdono kaj distribuado de duktoj
Tre pura kaj pura gasa korpa transdono kun tubaro signifas, ke ekzistas iuj postuloj aŭ kontroloj por tri aspektoj de la gaso por esti transportataj.
Gasa pureco: La enhavo de malpura atmosfero en la pureco de GGAS: La enhavo de malpura atmosfero en la gaso, kutime esprimita kiel procento de gasa pureco, kiel 99.9999%, ankaŭ esprimita kiel la volumena rilatumo de malpura atmosfero -enhavo ppm, ppb, ppt.
Sekeco: La kvanto de spura humideco en la gaso, aŭ la kvanto nomata malsekeco, kutime esprimita koncerne rosan punkton, kiel atmosfera premo roso -punkto -70. C.
Pureco: La nombro de poluantaj eroj enhavitaj en la gaso, partikla grandeco de µm, kiom da eroj/m3 por esprimi, por kunpremita aero, kutime ankaŭ esprimitaj koncerne kiom da mg/m3 da neeviteblaj solidaj restaĵoj, kiuj kovras la olean enhavon.
Klasifiko de la grandeco: poluaj partikloj, ĉefe rilatas al dukto-skoltoj, eluziĝo, korodo generita de metalaj eroj, atmosferaj fulgaj eroj, same kiel mikroorganismoj, fagoj kaj humidecaj gasaj kondensaj gutetoj, ktp.
a) Grandaj eroj - partikla grandeco super 5μm
B) Partiklo-Materia diametro inter 0,1μm-5μm
C) Ultra-mikro-eroj-partikla grandeco malpli ol 0,1μm.
Por plibonigi la aplikon de ĉi tiu teknologio, por povi perceptan komprenon pri partikla grandeco kaj μm -unuoj, aro de specifa partikla stato estas provizita por referenco
La sekva estas komparo de specifaj eroj
| Nomo /partikla grandeco (µm) | Nomo /partikla grandeco (µm) | Nomo/ partikla grandeco (µm) |
| Viruso 0.003-0.0 | Aerosol 0,03-1 | Aerosoligita mikrodropleto 1-12 |
| Nuklea brulaĵo 0,01-0.1 | Pentru 0.1-6 | Flugi Cindron 1-200 |
| Karbona nigra 0,01-0.3 | Lakta pulvoro 0.1-10 | Pesticido 5-10 |
| Rezino 0,01-1 | Bakterioj 0.3-30 | Cementa Polvo 5-100 |
| Cigareda fumo 0,01-1 | Sabla polvo 0,5-5 | Poleno 10-15 |
| Silikono 0.02-0.1 | Pesticido 0.5-10 | Homaj haroj 50-120 |
| Kristaligita salo 0.03-0.5 | Koncentrita sulfura polvo 1-11 | Sea sablo 100-1200 |
Afiŝotempo: Jun-14-2022