Ĉar la duonkondukta merkato kreskas, normoj por pureco kaj precizeco fariĝas pli striktaj. Unu el la determinantaj faktoroj en la kvalito de duonkondukta fabrikado estas la gasoj uzataj en la procezo. Ĉi tiuj gasoj ludas multajn rolojn en la fabrikada procezo, inkluzive:
Preciza Proceza Kontrolo
Kontaminado -Antaŭzorgo
Metalurgia Propra Plibonigo
Por plenumi ĉi tiujn rolojn efike, la gasa provizo kaj distribua sistemo devas esti efikaj. La dezajno de gasaj uzaj sistemoj uzataj en semikonduktaĵa fabrikado devas esti subtenata de fortikaj komponentoj kaj personecigitaj asembleoj por certigi fidindan kaj altkvalitan produktadon de duonkonduktaĵoj.
Gasoj uzataj en fabrikado de duonkonduktaĵoj
La procezo de fabrikado de duonkonduktaĵoj postulas uzon de malsamaj gasoj ĉe malsamaj stadioj de la procezo.
Dum oftaj gasoj kiel nitrogeno, hidrogeno, argono kaj heliumo povas esti uzataj en sia pura formo, iuj procezoj povas postuli specialajn miksaĵojn. Silanoj aŭ siloxanoj, hexafluoridoj, halogenoj kaj hidrokarbonoj estas kelkaj el la specialaj gasoj uzataj en duonkondukta fabrikado. Multaj el ĉi tiuj gasoj povas esti danĝeraj aŭ tre reaktivaj, kreante defiojn en la elekto kaj dezajno de komponentoj por gasaj sistemoj.
Jen kelkaj ekzemploj:
\ Hidrogeno kaj heliumo povas facile filtriĝi de tubado kaj konvenaj sistemoj pro sia malgranda atoma grandeco kaj pezo.
\ Silanoj estas tre flamigeblaj kaj povas spontane bruligi (autoignite) en aero.
\ Nitrogen -difluorido uzita en la deponejo, gravuraĵo kaj ĉambra purigado -stadioj fariĝas potenca forceja gaso kiam filtriĝas en la medion.
\ Hidrogena fluorido (akva gaso) estas tre koroda al metala tubado.
\ Trimetilgalio kaj amoniako povas esti malfacile pritrakteblaj - malgrandaj fluktuoj en siaj temperaturoj kaj premaj postuloj povas influi la deponan procezon.
Kontroli procezajn kondiĉojn por minimumigi la negativajn efikojn de ĉi tiuj gasoj devas esti ĉefa prioritato dum sistemo -projektado. Estas same grave uzi la plej altkvalitajn komponentojn kiel AFK -diafragmaj valvoj dum la konstrua procezo.
Trakti sistemajn projektajn defiojn
Semikonduktaĵaj gradaj gasoj estas en la plej multaj kazoj de alta pureco kaj provizas inertajn kondiĉojn aŭ plibonigas reagojn ĉe malsamaj stadioj de la fabrikada procezo, kiel ekzemple etaj kaj deponaj gasoj. Filtrado aŭ poluado de tiaj gasoj povas havi negativajn efikojn. Tial ĝi estas kritika por la sistemaj komponentoj uzataj por esti hermetike sigelitaj kaj korodaj kaj ankaŭ havas glatan surfacan finon (elektrolitan poluradon) por certigi, ke ne ekzistas ebleco de poluado kaj ke ekstreme alta pureco povas konserviĝi.
Krome, iuj el ĉi tiuj gasoj povas esti varmigitaj aŭ malvarmetigitaj por atingi deziratajn procezajn kondiĉojn. Bone izolitaj komponentoj certigas temperaturkontrolon, kio estas kritika por efika agado de la fina produkto.
De la fonto en la punkto de uzo, la vasta gamo de komponantoj de AFK subtenas la ultra-altan purecon, temperaturon, premon kaj fluan kontrolon postulatan en semikonduktaĵaj puraj ĉambroj kaj vakuaj ĉambroj.
Desegnitaj sistemoj kun kvalitaj komponentoj en duonkondukta fabo
La rolo de kvalitaj komponentoj kaj dezajno -optimumigo estas kritika por la preciza kontrolo kaj sekura fabrikado de duonkonduktaĵoj. La uzataj komponentoj devas esti fortikaj kaj senfluaj por kongrui kun la diversaj procezaj kondiĉoj postulataj ĉe malsamaj stadioj de fabrikado. La altkvalitaj valvoj, akcesoraĵoj, reguligiloj, tubado kaj sigelantaj krampoj estas karakterizitaj per la jenaj ecoj:
Ultra-alta pureco
Likvaj liberaj sigeloj
Temperaturo kontrolita izolado
Prema kontrolo
Koroda Rezisto
Elektrolitika polura kuracado
Afiŝotempo: Okt-09-2023