La uzo de gasoj en la duonkondukta industrio datiĝas de la fruaj 1950 -aj jaroj ĝis 1960 -aj jaroj. Dum la procezo de fabrikado de duonkonduktaĵoj, gasoj estas ĉefe uzataj por purigi kaj protekti duonkonduktaĵojn por certigi sian purecon kaj kvaliton. Among the most commonly used gases are nitrogen and hydrogen.
Ĉar duonkondukta teknologio disvolvis kaj fabrikadajn procezojn daŭre pliboniĝis, la postulo je gasoj pliiĝis. En 1970, plua disvolviĝo de semikonduktaĵa fabrikada teknologio, la apliko de gasoj en ŝlosilaj procezoj kiel gravuraĵo kaj deponejo de maldikaj filmoj iom post iom pliiĝis, kaj fluoridaj gasoj (ekz. SF6) kaj oksigeno fariĝis ofte uzataj gravuraĵoj kaj deponejoj. 1980 vidis plian kreskon de la postulo je gasoj kun la disvolviĝo de integraj cirkvitoj kaj la kreskon de postulo de ili. Hidrogeno estis vaste uzata en la fabrikada procezo, inkluzive de hidrogena tondado kaj deponejo de hidrogena vaporo. Kaj de 1990 ĝis la nuntempo, la postulo je alt-purecaj gasoj kaj specifaj gasoj pliiĝis dum semikonduktaĵaj aparatoj daŭre malpliiĝis kaj novaj procezoj estis enkondukitaj. Ekzemple, la apliko de ekstrema ultraviola litografio (EUV) postulas uzon de ekstreme altaj purecaj gasoj kiel nitrogeno kaj hidrogeno.
Semikonduktaĵa gaso daŭre pliiĝas kun la disvolviĝo de rilataj produktoj pelitaj de pli kaj pli multaj produktoj estas rivelitaj, dum la gaso ankaŭ apartenas al la fonto de danĝero, do la produktoj uzataj por gasaj malkompensaĵoj, gasaj detektaj produktoj kaj malhelpas produktojn de gaso de gaso, kiel ekzemple premo -reguligiloj, gasaj valvoj, gasaj premoj: gaso -detektilo, ktp., Kaj iliaj ruloj estas sekvaj mezuriloj, gaso -detektilo, ktp., Kaj iliaj ruloj estas sekvaj mezuriloj, gaso -detektilo, ktp., Kaj iliaj ruloj estas sekvantaj mezuriloj de gaso, ktp.
Reguligiloj de premo: reguligiloj de premo estas aparatoj uzataj por kontroli gasan premon. Ili kutime konsistas el reguliga valvo kaj prema sensilo. Premaj reguligiloj prenas altan preman gason enigaĵon kaj stabiligas la premon de la elira gaso alĝustigante la valvon por plenumi specifajn aplikajn postulojn. Premaj reguligiloj estas vaste uzataj en areoj kiel industrio, fabrikado kaj laboratorioj, same kiel en la duonkondukta industrio, inter aliaj, por certigi la stabilecon kaj sekurecon de la gaso.
Gas Valves: Gas valves are used to control the flow of gases and to close gas passages. They usually have an on/off function that opens or closes the gas flow. There are various types of gas valves, including manual valves, electric valves and pneumatic valves. Ili estas vaste uzataj en gasaj sistemoj por kontroli la fluon, premon kaj fluon de gasoj.
Gas Pressure Gauges: Gas pressure gauges are used to measure the pressure level of a gas. Ili kutime estas instalitaj ĉe kritikaj lokoj en gasaj sistemoj por monitori premajn ŝanĝojn kaj certigi, ke ili estas en sekuraj limoj. Gaspremaj mezuriloj estas vaste uzataj en industrio, fabrikado kaj laboratorioj, kaj la duonkondukta industrio ankaŭ estis implikita.
Detektiloj de gaso: detektiloj de gaso estas uzataj por detekti filtraĵojn en gasaj sistemoj. Ili detektasLa ĉeesto de gasaj filtraĵoj kaj sonas alarmo por ke ĝustatempa ago estu farita por malebligi filtrajn akcidentojn. Detektiloj de gaso estas vaste uzataj en industriaj, kemiaj, petrolaj kaj gasaj aplikoj, kaj la duonkondukta industrio ankaŭ estis implikita.
Afiŝotempo: Feb-20-2024