Tail -gasa traktado -ekipaĵo povas pritrakti gasojn uzitajn en akcelaj procezoj kaj kemiaj vaporaj deponaj procezoj en la semikonduktaĵo, likva kristalo, kaj sunenergiaj industrioj, inkluzive de SIH4, SIH2CL2, PH3, B2H6, TEOS, H2, CO, NF3, SF6, C2F6, WF6, NH3, N2, SF6, C2F6, WF6, NH3, N2, S.
Elĉerpa Gasa Traktado -Metodo
Laŭ la trajtoj de ellasa gaso -traktado, la kuracado povas esti dividita en kvar specojn de kuracado:
1. Akva lavado (traktado de korodaj gasoj)
2.
3. Adsorption (laŭ la tipo de adsorbado -materialo por trakti la respondan ellasan gason).
4.Plasma brula tipo (ĉiuj specoj de ellasaj gasoj povas esti traktataj).
Ĉiu speco de kuracado havas siajn proprajn avantaĝojn kaj malavantaĝojn same kiel sian amplekson de apliko. Kiam la traktado-metodo estas akvo-lavado, la ekipaĵo estas malmultekosta kaj simpla, kaj nur povas trakti akvorezistajn gasojn; La aplika gamo de la elektra akvo -lavado estas pli alta ol tiu de la akvo -lavado, sed la operacia kosto estas alta; La seka tipo havas bonan kuracadan efikecon, kaj ne aplikeblas al la gaso -fluo, kiu estas facile ŝtopita aŭ fluata.
Kemiaĵoj kaj iliaj kromproduktoj ofte uzataj en la duonkondukta industrio povas esti kategoriigitaj laŭ iliaj kemiaj proprietoj kaj iliaj malsamaj gamoj:
1. Flammemoraj gasoj kiel SIH4H2, ktp.
2. Toksaj gasoj kiel Ash3, Ph3, ktp.
3. Korodaj gasoj kiel HF, HCl, ktp.
4. Forcejaj gasoj kiel CF4, NF3, ktp.
Ĉar la supraj kvar gasoj estas malutilaj por la medio aŭ homa korpo, devas malebligi ĝian rektan emision en la atmosferon, do la ĝenerala semikonduktaĵa planto estas instalita kun granda centralizita ellasa gasa traktado, sed ĉi tiu sistemo estas nur akvumado de akvo, do ĝia apliko estas limigita al la daŭro de la akvovojo kaj ne povas trakti la fortan akv-elĉerpajn gastojn. Tial necesas elekti kaj kongrui kun la respondaj elĉerpaj gasaj kuracaj ekipaĵoj laŭ la gasaj trajtoj derivitaj de ĉiu procezo por solvi la problemon de ellasa gaso en malgranda maniero. Ĉar la laboreja areo estas plejparte for de la centra ellasa gasa traktado, ofte pro gasaj trajtoj kondukas al kristaliĝo aŭ polvo -amasiĝo en la dukto, rezultigante ŝtopadon de la dukto kondukanta al gaso -fugaĵo kaj en gravaj kazoj, eĉ kaŭzas eksplodon, ne povas certigi, ke la sekureca sekureco de la retejo. Sekve, en la laborejo bezonas agordi malgrandan ellasan gasan kuracadan ekipaĵon taŭgan por la trajtoj de la proceza gaso, por malpliigi la stagnan ellasan gason en la laborejo, por certigi la sekurecon de dungitaro.
Afiŝotempo: aŭgusto-10-2023