1 | Max.working premo 20.6 Mpa. |
2 | Maks.labortemperaturo 204 ℃ (Alttemperatura medio ĝis 454 ℃, nuntempe la sigela materialo estas anstataŭigita per vastigita grafito) |
3 | Filtrila sistemo Partiklaj malpurigaĵoj, gasoj, likvaĵoj estas aplikeblaj. |
4 | Neoksidebla ŝtalo pulvormetalurgio sinterita filtrila filtrila precizeco 2μm~40μm |
5 | Filtrila fluo 1x 10 -6~1×10-2L/min.cm2.pa |
6 | Filtrilo povas esti ŝanĝita. |
Produktaj trajtoj de Filtrilo
1 | Larĝa aplika gamo, flua gamo de 15 ĝis 300SL / min. |
2 | Ĝi havas bonan kongruon kun la plej multaj altpuraj semikonduktaĵaj procezgasoj. |
3 | 3 nanopartikla filtra kapablo konservas altan fluon-efikecon kaj ultra-malgrandan premon. |
4 | 5Ra elektropolurita surfaco povas malhelpi internan poluon. |
5 | Baku kun varma nitrogeno post dejonigita akvo por plenumi semikonduktaĵajn proceznormojn. |
6 | 1000-nivela senpolva asepsa laborejo fabrikado, purigado kaj paka medio. |
7 | Provu pri 100% heliumo-elfluo. |
Inlet | Elirejo | |
1 | 1/8″ tuba ĝustigo | 1/8″ tuba ĝustigo |
2 | 1/4″-tuba konvenaĵo | 1/4″-tuba konvenaĵo |
3 | 3/8″-tuba konvenaĵo | 3/8″-tuba konvenaĵo |
4 | 1/2″-tuba konvenaĵo | 1/2″-tuba konvenaĵo |
5 | 6MM-tuba konvenaĵo | 6MM-tuba konvenaĵo |
6 | 8MM-tuba ĝustigo | 8MM-tuba ĝustigo |
7 | 10MM-tuba ĝustigo | 10MM-tuba ĝustigo |
8 | 12MM-tuba ĝustigo | 12MM-tuba ĝustigo |
9 | 1/8″ Ina NPT | 1/8″ Ina NPT |
10 | 1/4″ Ina NPT | 1/4″ Ina NPT |
11 | 1/4″ Vira NPT | 1/4″ Vira NPT |
12 | 3/8″ Maskla NPT | 3/8″ Maskla NPT |
13 | 1/2″ Vira NPT | 1/2″ Vira NPT |
Parametroj de Produkta Efikeco de Filtrilo
1 | Filtrila Precizeco | ≥0.0025μm | |
2 | Efikeco de filtrado | Foriga indico99.99999%≥0.0025μm | |
3 | Taksita fluo | 15L/Min | |
4 | 60L/Min | ||
5 | 120L/Min | ||
6 | 200L/Min | ||
7 | 300L/Min | ||
8 | Filtrila komponado | filtrila elemento | 316L/PTFE |
9 | loĝejo | Neoksidebla ŝtalo 316L | |
10 | Laboradaj Kondiĉoj | Maksimuma enirpremo | 21Mpa(310kgf/cm2) |
11 | Maksimuma diferenciala premo | 15Mpa(153kgf/cm2) | |
12 | Maksimuma funkciada temperaturo | 430 ℃ (inerta gaso) | |
13 | Elflua indico de heliumo | 1×10-9 atm.cc/sec | |
14 | Surfaca finaĵo | ≤Ra 5μin |